DE Deutsch
FR Français
ES Español
TR Turkce
RU Pусский
AR العربية
CN 中国
NDS Plattdeutsch
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)
| Availability: | Für Ihren Standort nicht freigeschaltet. Zum Teil bekommen Sie Zugriff auf Abstracts, Inhaltsverzeichnisse oder bei hybriden Zeitschriften auch auf einzelne enthaltene Open-Access-Artikel |
|---|---|
| Homepage(s): | |
| Fulltext available since: | Volume 1 (2002) |
| Publisher: |
SPIE Search publishers open access policy in SHERPA/RoMEO |
| ZDB-ID: | 3056313-6 |
| Subject(s): | |
| Tag(s): | Mikroelektronik |
| E-ISSN(s): | 1932-5134, 2708-8340 |
| P-ISSN(s): | 1932-5150 |
| Appearance: | Volltext, Online und Druckausgabe |
| Costs: | kostenpflichtig |
| Comment: | 1.2002 - 5.2006 u.d.T.: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. |
| List of participate institutions which offer full access. |
Zur Fachübersicht
powered by EZB
Kontakt:
Bibliothekarische Auskunft
Öffnungszeiten: Mo-Fr 9-17
E-Mail:
auskunft@sub.uni-hamburg.de
Telefon:
+49 40/42838-2233
Telefax:
+49 40/42838-3352